Korvus Technology produce e vende la serie HEX di sistemi di deposizione da banco. L’azienda ha oltre 20 anni di esperienza nel mercato della tecnologia dei film sottili, producendo e installando sistemi di deposizione in HV e UHV. La piattaforma HEX offre un livello insuperabile di personalizzazione e controllo da parte dell’utente ed è progettata per incorporare le tecnologie più moderne nel campo dei film sottili in un sistema PVD da banco.
I sistemi possono lavorare in modo manuale e automatico con un’ampia serie di strumenti per deposizione, tra cui: evaporatori E-Beam (con singolo o quadruplo pocket), sorgenti di sputtering RF e DC, evaporatori organici a bassa temperatura ed evaporatori termici. Sono anche disponibili molte opzioni come sistemi di monitoraggio, load lock in ultra alto vuoto, stage riscaldati, raffreddati statici o rotanti.
Grazie alla loro flessibilità, i sistemi HEX possono essere configurati come sistemi di sputtering, di E-Beam, OLED, evaporatori termici o qualsiasi combinazione di questi processi. I sei pannelli laterali sono singolarmente rimovibili e possono essere equipaggiati con una qualsiasi delle sorgenti di evaporazioni citate sopra, permettendo di ottenere deposizioni multi-strato o multi-processo senza interrompere il vuoto.
Sono anche disponibili vari strumenti per misure in-situ per tutti i modelli della serie HEX, permettendo l’integrazione di varie tecniche ottiche e spettroscopiche e i sistemi possono anche essere integrati in una glove-box per ricerche che richiedono un’atmosfera inerte.
La serie HEX è utilizzata in università e laboratori in tutto il mondo, per applicazioni che comprendono: la ricerca nel campo dei nuovi materiali, deposizione per sputtering, metallizzazione a contatto, coating di contatti elettrici, lift off, preparazioni di campioni EM e anche per l’istruzione e il training. La modularità e la facilita di utilizzo rende i sistemi HEX ideali per l’utilizzo in camere pulite e perfette per programmi di insegnamento sui film sottili.
2024-04-06