Hiden Analytical produce spettrometri di massa a quadrupolo.
I nostri spettrometri di massa a quadrupolo sono disponibili in un’ampia gamma di configurazioni per l’analisi di gas/vapori, analisi di gas residui, analisi di ioni plasma, scienza delle superfici UHV, analisi termica e analisi di superficie. Gli spettrometri di massa Hiden sono configurati per intervalli di massa: 100, 200, 300, 510, 1000, 2500 e 5000 AMU, consentendo l’analisi della più ampia varietà di composti organici volatili, metallo-organici e inorganici. Il software di controllo dello spettrometro di massa Hiden consente l’acquisizione rapida di dati in tempo reale su un intervallo dinamico di oltre 10 decenni.
Il nostro servizio di progettazione su misura prevede lo sviluppo interattivo di soluzioni per soddisfare requisiti specifici del cliente.
Che cosa?
I nostri quadrupoli permettono l’analisi di:
- Gas residui e vapori in vuoto e ultra alto vuoto
- Gas e vapori nei processi in vuoto, in processi a pressione fino a quella atmosferica e in processi a pressione fino a 30 bar
- Vapori volatili organici
- Vapori metallici
- Vapori metallici/organici
- Gas disciolti in liquidi
- Ioni, neutri e radicali nei in un plasma
- Ioni secondari nell’analisi SIMS di superfici
- Specie analizzate come ioni, positivi e negativi, neutre e radicali neutri
Come?
Come analizziamo:
- Tecniche avanzate di spettrometria di massa abbinate a sistemi di campionamento che consentono risultati sensibili, stabili e ad alta risoluzione
- Inlet a capillare – Inlet di quarzo inerte-QIC
- Analisi di flussi gassosi multipli
- Campionamento con orifizio diretto
- Campionamento di fasci molecolari supersonici
- Sorgente di campionamento cross-beam
- Sonda solida
- Sonda per gas disciolti
- Sistemi realizzati appositamente per applicazioni speciali
Perché?
Che cosa ci dicono i risultati:
- Identificazione delle specie grazie a una libreria di picchi spettrali
- Misura qualitativa della pressione parziale
- Misure quantitative accurate della composizione di un gas
- Analisi delle tendenze: transitori analizzati a frequenze di millisecondi, misurazioni risolte nel tempo in processi pulsati misurati nell’intervallo di tempo dei microsecondi
- Concentrazione delle specie disciolte in liquidi
- Analisi diretta dell’interazione fra vapori e solidi
- End point detection in applicazioni di ion beam etch
- Informazioni sul depth profile con i nostri analizzatori SIMS
- Mapping elementale e imaging superficiale con i nostri analizzatori SIMS
- SIMS statico per l’analisi delle contaminazioni superficiali
La storia
Nel 1982 a Warrington, in Inghilterra, Hiden Analytical nasce come azienda start-up, inizialmente focalizzata sulla produzione di spettrometri di massa a quadrupolo per la lavorazione sotto vuoto nel settore emergente della fabbricazione di semiconduttori. Nel tempo le aree di applicazione si sono ampliate e sono stati sviluppati nuovi prodotti. I primi sviluppi hanno visto la progettazione di sistemi di analisi del gas in tempo reale seguiti da prodotti nuovi e innovativi per affrontare aree specifiche. Inizialmente, sistemi di misurazione diretta degli ioni esterni per la diagnostica del processo del plasma, quindi monitoraggio degli ioni secondari per la caratterizzazione della superficie (tecnica SIMS). I recenti sviluppi hanno incluso sistemi per l’analisi diretta delle specie disciolte in applicazioni ambientali ed elettrochimiche, nonché miglioramenti nella portabilità del sistema, con il pQA che è un analizzatore a quadrupolo portabi completo di funzionalità per studi ambientali. La gamma di prodotti Hiden si è ulteriormente ampliata per offrire sistemi rivolti alle cinque principali aree di applicazione di RGA, analisi dei gas, catalisi e analisi termica, caratterizzazione del plasma e analisi delle superfici. Il servizio di progettazione su misura di Hiden continua a fornire al cliente lo sviluppo interattivo di soluzioni per soddisfare requisiti specifici.